光刻机的制造是个系
统工程,方方面面的配件都要影响光刻机的精度🝤。但最主要的影响点🝎就是光刻机主体系统的机械精度。一旦机械精度调整不好,光刻机的整体精度就确保不了。
通过胡明镇的确判,许振鸣的信心更足🌅,准备实施下🁡一📼☧🁯个研发计划。“老胡,我们现在就召开一个技术讨论会怎么样?”他面带微笑的问胡明镇。
胡明镇闻言,眸光转动一下,眉头挑了挑。
“好,这🆪💘💇个项🐩🂣目进行到现在。咱们是要做一次技术总结了。”随后,他微微🝀🟐点头。
时间不久,第三代光刻机国产化的项目小组成员们都来到🐆♋鸣🄐☗芯制造公司的保密会议室。就连没有休假的周家伟、何昌林等人也都来到,参加这次技术总结会议。
见该来的技术员们都已经来到,许振鸣这才朝主持会议的胡明🈮镇点点头,示意☖他开始会议。
“同事们,历经一年五🛹♮个月的第三代光刻机国产化项目,咱们终于在今天画上圆满的句号。众所周知,这个项目是由许董提出,我个人极力支持的。要是没有我个人的怂恿,我估计咱们许董也不会投资这么多钱来搞KrF光刻机!”
“啪啪啪……”
胡明镇的话刚刚说到这里,会📧🝍议室里顿时响起一片热烈的掌声。
一番体验下来,大家都能体会到许振鸣当初要立项KrF光刻机项目的危险性。这个项🎪目耗资十几亿元,拿出的成果仅仅只能买一千万美金,风险可👡👓想而知。
而正是因🆪💘💇为许振鸣的冒险精神,胡明镇的鼎力投入才会有今天的胜利果实。故此,技术🎪员一边在鼓掌,一边在回🎲🕅忆着往日的点点滴滴。
“光刻机项目是一个系统工程,涉及到材料学、光学、机床学🈮、机械加工学、机械结构学、流体力学、自☄动🕡化控制学、精密传感学……等等等等。”
“通过这个项🐩🂣目,我🎈🏇们在激光光学系统、机械加工学、流体传动学等方面都取得巨大的成功,集团公司在这些项目方面的设计和制造能力都取得了重大突破!”
待掌声回落,胡明镇扶了扶眼📧🝍镜框又开始继续做总结。
在他🌣🀼看来,许振鸣投入的💦十几亿元一点也不亏本。
比📰🞟🕘如说,没有一鸣集团公司的投入,郝宁教授的团队就不能拿出世界一流水平的激光光路系统。
而这套激光光路系🁔🅞统的出现,也把我国光学仪器、光🁡学镜片、光学光路等尖端项目的技术储备提高一个档次。
比如说,没有海量资金的投🞍💷🖟入,一鸣集团公司的数控机床技术就不会取得突破,也制造不出光刻机的主体系统。
而这项技术的突破又🎈🏇会提高🞍💷🖟一鸣集团公司的数控机床技术。
“我个人以为,📃😏咱们集团公司在不久的将来,一定会拿出最新一代的数控机床,在数控机床这方面会追上米国人脚步。”
胡明镇语出惊人📃😏,说完这句话以后停顿了一下,目光朝洪爱国看去。
数控🌣🀼机床的技术,目前最牛的是德⚪🔏国人,其次就是岛国人。
而作为世界最牛的国家-----米国,在数控机床技术这方面也只🝎能排在岛国人的身后。